环境对真空应用的影响

所谓常规真空工艺系指没有特殊请求的真空工艺过程，这类真空安装（设备）对真空卫生的请求：

（1）但凡处于真空中的真空设备零件，都请求无积存的污染源，外表无尘埃，无铁屑、无锈蚀；

（2 ）真空设备的真空室外表要润滑、无松软组织和气孔、无内焊缝等影响真空的缺陷；

（3 ）高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作光滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作光滑剂；法兰、察看窗的密封部件要涂以高真空油脂；

（4）真空设备普通应在温度为15～30℃，相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于25 ℃。

电真空工艺对环境的请求

电真空构造资料除具有良好的机械性能和加工性能外，还要满足其他性能的请求，即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳

定性、一定的纯度和清洁度、适宜的辐射才能等。所以电真空工艺具有特殊性，对清洁处置请求是极为严厉的，应最大限度肃清

或减少零件的污染。

真空镀膜工艺对环境的请求

真空镀膜工艺衬底（基片）外表的清洁处置很重要，基片进入镀膜室前均应停止认真的镀前清洁处置，到达工件去油、去污和脱

水的目的。基片外表污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、抛光膏、油脂、汗渍等物；零件外表在湿润空气

中生成的氧化膜；零件外表吸收和吸附的气体。这些污物根本上均可采用去油或化学清洗办法将其去掉。